Las fuentes de alimentación de baja y media frecuencia de Advanced Energy ofrecen una energía altamente eficiente y fácil de integrar para proceso de control mejorado en una amplia variedad de aplicaciones de deposición al vacío.
Plataforma de producto | Descripción | Rango |
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PDX® Mid-Frequency | Fuentes de alimentación | 900 W a 8 kW 235 a 460 kHz |
PEII Low-Frequency | Fuentes de alimentación | 1 a 60 kW 40 kHz |
LFGS RF Generators | Fuentes de alimentación | 1,25 kW 40 a 500 kHz |
Ascent® DMS | Dual-magnetrón accessorios | 30 a 180 kW 0,5 a 50 kHz |
Low- and mid-frequency power supplies from Advanced Energy offer highly efficient, easy-to-integrate power for improved process control in a wide variety of vacuum deposition applications.
Product platform | Description | Range / size |
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PDX® Mid-Frequency | Power conversion and control systems | 900 W to 8kW 235 to 460 kHz |
PEII Low-Frequency | Power conversion and control systems | 1 to 60 kW 40 kHz |
LFGS RF Generators | Power conversion and control systems | 1.25 kW 40 to 500 kHz |
Ascent® DMS | Advanced dual-magnetron sputtering accessories | 30 to 180 kW 0.5 to 50 kHz |