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Gas throughput

Caudal de gas

Gas throughput is the rate of the quantity of gas (the volume multiplied by the pressure) that passes a plane. The range of units for gas throughput are many and varied; the most commonly used are:
Name Symbol Description
Pascal cubic metres per second Pa.m3.s-1 This is the SI unit
Watt W This is sometimes used for outgassing rates, 1W is equivalent to 1 Pa.m3.s-1
Milibar litres per second mbar.l.s-1 This is the unit normally used in Europe to measure leak rates
Torr litres per second Torr.l.s-1 This is the unit normally used in the US to measure leak rates
Standard cubic centimetres per second sccm This is the unit normally used to characterise gas flows for processes such as CVD.
Standard temperature and pressure means different things in different industries, we
will use the NIST definition, which is a temperature of 0º C and a pressure of 101.325 kPa.
Standard litres per minute slm This is similar to sccm, but used for higher flows.
El caudal de gas es la tasa por la que una cantidad de gas (volumen multiplicado por la presión) atraviesa un plano. Existe un amplio y variado rango de unidades para medir el caudal, siendo las más comunes:
Nombre Símbolo Descripción
Pascal metros cúbicos por segundo Pa.m3.s-1 Es la unidad del SI
Vatio W Se puede emplear para la tasa de desgasificación. 1 W equivale a 1 Pa.m3.s-1
Milibar litros por segundo mbar.l.s-1 Es la unidad que se suele usar en Europa para medir la tasa de fuga.
Torr litros por segundo Torr.l.s-1 Es la unidad que suele emplearse en EEUU para medir la tasa de fuga.
Centímetros cúbicos por segundo en condiciones estándar sccm Es la unidad que se usa normalmente para medir flujos gaseosos para procesos como CVD. Debido a que la temperatura y presión estándar varían según la industria, usaremos la definición NIST, que supone una temperatura de 0º C y una presión de 101.325 kPa.
Litros por minuto en condiciones estándar slm Se parece a sccm, pero se usa para flujos más grandes.

Gas throughput and pumping speed

Caudal de gas y velocidad de bombeo

Gas throughput
Caudal de gas
Gas throughput - units
Caudal de gas - unidades
Gas throughput is the rate of the quantity of gas (the volume multiplied by the pressure) that passes a plane. The range of units for gas throughput are many and varied; the most commonly used are:
Name Symbol Description
Pascal cubic metres per second Pa.m3.s-1 This is the SI unit
Watt W This is sometimes used for outgassing rates, 1W is equivalent to 1 Pa.m3.s-1
Milibar litres per second mbar.l.s-1 This is the unit normally used in Europe to measure leak rates
Torr litres per second Torr.l.s-1 This is the unit normally used in the US to measure leak rates
Standard cubic centimetres per second sccm This is the unit normally used to characterise gas flows for processes such as CVD.
Standard temperature and pressure means different things in different industries, we
will use the NIST definition, which is a temperature of 0º C and a pressure of 101.325 kPa.
Standard litres per minute slm This is similar to sccm, but used for higher flows.
El caudal de gas es la tasa por la que una cantidad de gas (volumen multiplicado por la presión) atraviesa un plano. Existe un amplio y variado rango de unidades para medir el caudal, siendo las más comunes:
Nombre Símbolo Descripción
Pascal metros cúbicos por segundo Pa.m3.s-1 Es la unidad del SI
Vatio W Se puede emplear para la tasa de desgasificación. 1 W equivale a 1 Pa.m3.s-1
Milibar litros por segundo mbar.l.s-1 Es la unidad que se suele usar en Europa para medir la tasa de fuga.
Torr litros por segundo Torr.l.s-1 Es la unidad que suele emplearse en EEUU para medir la tasa de fuga.
Centímetros cúbicos por segundo en condiciones estándar sccm Es la unidad que se usa normalmente para medir flujos gaseosos para procesos como CVD. Debido a que la temperatura y presión estándar varían según la industria, usaremos la definición NIST, que supone una temperatura de 0º C y una presión de 101.325 kPa.
Litros por minuto en condiciones estándar slm Se parece a sccm, pero se usa para flujos más grandes.
- conversion factors
- los factores de conversión
Gas throughput - conversion factors
Caudal de gas - los factores de conversión
Pa.m3.s-1 mbar.l.s-1 Torr.l.s-1 sccm slm
1 Pa.m3.s-1 1 1.000 x 10+1 7.501 x 10+0 5.992 x 10+2 5.992 x 10-1
1 mbar.l.s-1 1.000 x 10-1 1 7.501 x 10-1 5.992 x 10+1 5.992 x 10-2
1 Torr.l.s-1 1.333 x 10-1 1.333 x 10-1 1 7.895 x 10+1 7.895 x 10-2
1 sccm 1.689 x 10-3 1.689 x 10-2 1.267 x 10-2 1 1.000 x 10-3
1 slm 1.689 x 10+0 1.689 x 10+1 1.267 x 10+1 1.000 x 10+3 1
Pumping speed
Velocidad de bombeo
Pumping speed - units
Velocidad de bombeo - unidades
A vacuum pump is normally characterised by its pumping speed. This quantity is defined as the volumetric rate at which gas is transported across a plane and is calculated by dividing the gas throughput by the pressure at the plane; its dimensions are volume per unit time. Several different units are used, the most common of which are:
Name Symbol Description
Cubic metres per second m3.s-1 This is the SI unit, but is not often used by pump manufacturers
Cubic metres per hour m3.h-1 This is the unit normally used in Europe for primary pumps
Litres per minute l.min-1 This is sometimes used for small primary pumps
Cubic feet per minute cfm This is often used in the US for primary pumps
Litres per second l.s-1 This is the standard unit used in Europe for secondary pumps
Una bomba de vacío se distingue normalmente por su velocidad de bombeo. Esta cantidad se define como la tasa volumétrica por la que el gas atraviesa un plano, y se calcula mediante la división del caudal gaseoso entre la presión del plano. Sus dimensiones son volumen por unidad de tiempo. Se pueden usar distintas unidades, las más comunes siendo las que se citarán a continuación:
Nombre Símbolo Descripción
Metros cúbicos por segundo m3.s-1 Es la unidad del Sistema Internacional, aunque no suele ser usado por fabricantes de bombas
Metros cúbicos por hora m3.h-1 Ésta es la unidad que suele usarse en Europa para bombas primarias
Litros por minuto l.min-1 Se puede usar para bombas primarias pequeñas
Pies cúbicos por minuto cfm Se suele usar en EEUU para bombas primarias
Litros por segundo l.s-1 Es la unidad estándar europea para bombas secundarias
- conversion factors
- los factores de conversión
Pumping speed - conversion factors
Velocidad de bombeo - los factores de conversión
m3.s-1 m3.h-1 l.min-1 cfm l.s-1
1 m3.s-1 1 3.600 x 10+3 6.000 x 10+4 2.119 x 10+3 1.000 x 10+3
1 m3.h-1 2.778 x 10-4 1 1.667 x 10+1 5.886 x 10-1 2.778 x 10-1
1 l.min-1 1.667 x 10-5 6.000 x 10-2 1 3.531 x 10-2 1.667 x 10-2
1 cfm 4.719 x 10-4 1.699 x 10+0 2.832 x 10-1 1 4.719 x 10-1
1 l.s-1 1.000 x 10-3 3.600 x 10+0 6.000 x 10+1 2.119 x 10+0 1
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