@import((rwml-menu))
ES
EN
ES
EN

ES

EN

ES

EN

Deposición en vacío

QUBE series- Deposition system

Serie QUBE- Sistema de deposición

Sistemas de deposición - Serie QUBE
The QUBE deposition system fits perfectly in a laboratory, which makes it the ideal tool for a lot of routine deposition processes, for small scale teaching laboratories, attached to a glove box or clean rooms where the available space is limited.
Visit the Mantis Deposition site for more detailed information.
El Sistema de deposición QUBE se adapta perfectamente en un laboratorio, lo que lo hace la herramienta ideal para un proceso de deposición rutinario, para laboratorios de enseñanza de pequeño tamaño, junto con una caja de guante o salas limpias, donde el espacio es limitado.
Visita el sitio web de Mantis Deposition para obtener información más detallada.
IntroductionIntroducción
IntroductionIntroducción
The QUBE deposition system fits perfectly in a laboratory, which makes it the ideal tool for a lot of routine deposition processes, for small scale teaching laboratories, attached to a glove box or clean rooms where the available space is limited.
El Sistema de deposición QUBE se adapta perfectamente en un laboratorio, lo que lo hace la herramienta ideal para un proceso de deposición rutinario, para laboratorios de enseñanza de pequeño tamaño, junto con una caja de guante o salas limpias, donde el espacio es limitado.
Applications
- Anti-reflection coatings
- Dielectrics
- Nanostructured Films
- Multilayers
- Optical coatings
- Device metallisation
- Ultra-thin films
Aplicaciones
- Cubiertas anti-reflejo
- Dieléctricas
- Películas nanoestructuradas
- Multicapas
- Cubiertas ópticas
- Metalización de herramientas
- Películas ultra-finas
Sistemas de deposición - serie QUBE
Vacuum chamber
Cámara de vacío
Vacuum chamber
Cámara de vacío
The QUBE series deposition system is based on a front-loading box-type chamber based upon a six faceted frame machined from stainless steel and 5 interchangeable panels, which can be easily swapped around to achieve the desired system configuration. By replacing one panel with an optional sliding door, this allows the system to be easily adapted to a Glovebox.
Depending on the type of the panel, it may serve as a chamber wall (blank panel), a viewport (viewport panel), a deposition source (source panel), a QCM (QCM panel) or a pump and pressure gauge panel.
Base ports are confocal as standard allowing a wider variety of deposition sources to be employed than with non-confocal arrangements. The system is equipped as standard with a 265 ls-1 turbo pump, but alternative pumping speed or types can be specified (e.g. 430 ls-1 or 685ls-1). An optional available throttle valve for sputtering processes is also available. When pumping down the system with a 265 ls-1 turbo pump, the base pressure reaches a guaranteed value of 5.0 x 10-6 mbar in just 15 minutes. The QUBE's ultimate base vacuum pressure is 1 x10-7 mbar.
La serie QUBE de sistemas de deposición esta basada en un compartimento box-type de carga frontal. Remplazando un panel por una puerta corredera opcional, permite al sistema adaptarse fácilmente al caja de guante.
Dependiendo en el tipo de panel, puede servir como un muro de la cámara, un mirilla, una fuente de deposición, un monitor de deposición o un panel con bomba y medición de presión.
Los puertos en la parte inferior de la cámara son normalmente confocal que permite una amplia variedad de fuentes de deposición para emplear mayor que los arreglos non-confocal. El sistema tiene equipaciacón estándar con una bomba turbo de 265 ls-1, pero se pueden especificar los tipos y velocidades de bombas (ej. 430 ls-1 ó 685 ls-1). Una válvula de estrangulación para procesos de pulverización catódica también está disponible como opción. Cuando se bombea el sistema con una bomba turbo de 265 ls-1, la base de presión alcanza un valor garantizado de 5.0 x 10-6 mbar en tan solo 15 minutos. La presión minima del QUBE es de 1 x10-7 mbar.
Sample handling
Manipulación
Sample handling
Manipulación de las muestras
The QUBE sample stage is typically placed at the top of the chamber with the sample facing downwards. In order to exchange the sample, simply open the front door and conveniently place the sample on the holder.
The most common sample stage is suitable for a single 4" substrate, offering a basic functionality with a fixed sample stage. Stages with added functionality such as rotation (2-20rpm), heating (300°C), water cooling, tilting, mask handling and DC biasing are available as standard options.
Various other sample stages, varying from small sample size up to 6", 8" or 10" size are also available.
These features ensure excellent film uniformity of the deposited films.
La plataforma de muestra del QUBE se coloca normalmente encima de la cámara con la muestra hacia abajo. Para cambiar la muestra, simplemente abrir la puerta frontal y fácilmente poner la muestra en el envase.
La plataforma más habitual es adecuado para un sustrato de 4”, ofreciendo un funcionalidad básica con una plataforma fija. Otras plataformas con funciones añadidas como rotación (2-20 revoluciones por minuto), calefacción (300º C), refrigerador de agua, inclinación, manejo máscara de deposición están disponibles como opción estándar.
También están disponibles otras plataformas de muestras que varían desde muestras pequeñas hasta un tamaño de 6", 8" ó 10".
Estas características aseguran una excelente uniformidad de películas.
Sources
Fuentes
Sources
Fuentes
Sputter source (magnetron)
Sputtering Sources
The base ports can accommodate up to six sputtering sources. We can supply 1 - 4" magnetron sputtering sources for DC or RF operation. Alternatively we are happy to incorporate existing or third party magnetrons into the system.

E-beam evpaorator
E-beam Sources
We offer two types of e-beam evaporation sources:
  • Low dose, high accuracy - These are intended for highly-controlled, ultra-thin film deposition of refractory materials into the system. See more details here.
  • Multi kW sources - These offer high deposition rate and high capacity. Up to two larger sources (single or multi-pocket) may be installed.

Knudsen (effusion) cells
Thermal Sources
Thermal sources such as K-cells can be added. K-cells will fit through standard ports and optional, water-cooled cross-contamination shields can be added around them to improve overall system purity.
Fuentes de pulverización catódica
Fuentes de pulverización catódica
Los puertos de la base de la cámara pueden acomodar hasta seis fuentes de pulverización catódica. Podemos suministrar 1 - 4” fuentes de magnetrón de pulverización catódica para operaciones CC/RF. A la vez, ofrecemos la incorporación de magnetrones existentes al sistema.

Evaporadores haz de electrones
Fuentes de haz de electrones
Ofrecemos dos tipos de fuentes de evaporación de haz de electrones:
-Bajo dosis, alta precisión: Se usan para deposición de materiales refractorias por películas ultra- finas y altamente controlada al sistema.
-Fuentes Multi kW: Ofrecen una alta tasa de deposición y alta capacidad. Hasta dos fuentes más grandes (compartimento simple o múltiple) pueden instalarse.

Células de efusión de Knudsen
Fuentes térmicas
Fuentes térmicas como células K (K-cells) pueden incorporarse. Las K-cells caben en puertos estándar y se pueden añadir escudos de contaminación cruzada a su alrededor para aumentar la pureza del sistema.
Gauges
Mediadores
Gauges
Mediadores
The system is configured as standard with full-range gauges to allow seamless pumpdown monitoring. Ports can be included for RHEED, ellipsometry, residual gas analysers or thin film monitors. Optionally, additional analysis equipment can be included at the user's request.
Automation
The system can be automated using touchscreen-based pumpdown or using process automation feature in in-house developed software.
El sistema está configurado como estándar con mediadores de gases de gran rango que permitirán una monitorización pump-down sin interrupciones. Puertos pueden incluirse para RHHED, elipsometría, análisis de gases residuales o monitores de películas finas. Opcionalmente, herramientas adicionales de análisis pueden incorporarse tras la petición del cliente.
Automatización
El sistema puede automatizarse usando pump-down táctil o mediante software de automatización de proceso.
SearchBuscar
Exhaust gas abatementExhaust gas abatement
KS-7OKS-7O
PS-7PS-7
Gas sensorsSensores de gas
Abatement with CLEANSORB dry-bed absorbersReducción con absorbentes CLEANSORB
Privacy policyPolitica de privacidad
Vacuum technologyTecnología de vacío
Contact usConsulta
Surface scienceCiencia de superficies
Vacuum deposition - productionDeposición al vacío - producción
Vacuum deposition - R & DDeposición al vacío - I + D
DownloadsDescargas
20152015
20142014
20132013
20122012
NewsNoticias
Dangerous gasesGases peligrosos
Vacuum flangesBridas de vacío
Gas throughput and pumping speedCaudal de gas y velocidad de bombeo
Definition, units and levelsDefinición, unidades y niveles
Technical notesNotas técnicas
SynchrotronSincrotrón
ApplicationsAplicaciones
SDMSDM
XP-329IIIRXP-329IIIR
XP-302MXP-302M
XP-31XXXP-31XX
XP-703DXP-703D
XP-702XP-702
XPS-7XPS-7
XX-2200XX-2200
Portable detectorsDetectores portátiles
SH-WADSH-WAD
TX-WADTX-WAD
KD-12KD-12
Gas detectorsDetectores de gases
Cryogenic - On-Board ISCriogénica - On-Board IS
Cryogenic - On-Board WaterpumpsCriogénica - On-Board Waterpumps
Cryogenic - On-BoardCriogénica - On-Board
Cryogenic - Cryo-TorrCriogénica - Cryo-Torr
Radio FrequencyRF
Low / mid frequencyCA
DCCC
Power suppliesFuentes de alimentación
Materials guidesGuías de materiales
Deposition materialsMateriales de deposición
Organic materialsMateriales orgánicos
Themal boats Barcas termales
IonsIones
Effusion cellsCélulas de efusión
SputteringPulverización catódica
NanoparticlesNanopartículas
Themal gas crackersCrackers de gas termales
E-beam evaporatorsEvaporadores de haz de electrones
SourcesFuentes de deposición
HEX seriesSerie HEX
NANOSYS seriesSerie NANOSYS
QUBE seriesSerie QUBE
QPREP seriesSerie QPREP
M seriesSerie M
SystemsSistemas
Vacuum deposition - PVDDeposición al vacío - PVD
Quartz crystal sensorsSensores de crystal de cuarzo
MonitorsMonitores
ControllersControladores
Thin film monitors and controllersControladores y monitores de deposición
ControllersControladores
Wide rangeAmplio rango
High precisionAlta precisión
Vacuum gaugesMedidores de vacío
Vacuum pumpsBombas de vacío
Deposition stagesPlataformas para la deposición
Manipulators for surface scienceManipuladores para la ciencia de superficies
TetrAxe - XYZTTetrAxe - XYZT
XYZ MultiStageMultiStage XYZ
XY stagesPlataformas XY
Y - shiftsDesplazamiento Y
Simple manipulatorsManipuladores sencillos
Heater modulesMódulos calefactores
Radial telescopic transfer armRadial telescopic transfer arm
Sample transferTransferencia de muestra
Magnetically coupledAcoplado magnéticamente
Push-pull devicesAparatos push-pull
Viewport shuttersObturadores para mirillas
Source shuttersObturadores rotatorias
ShuttersObturadores
LSM & HLSMLSM y HLSM
Linear movement and alignmentMovimiento lineal y alineación
CLEANSORB® stand-alone columnsSerie autónoma CLEANSORB®
Exhaust gas abatementReducción de gases de escape
Rotary motionMovimiento rotatorio
Movement and heatingMovimiento y calefacción
125μm UHV fibre feedthroughsPasamuros UHV de fibra-óptica con fibra de 125 µm
UHV feedthrough with attached in-vacuum fibrePasamuros UHV de fibra-óptica con fibra
UHV couplerAcoplamiento para ultra alto vacío
High vacuum couplerAcoplamiento para alto vacío
Fibre optic feedthroughsPasamuros de fibras ópticas
AccessoriesAccesorios
Adaptors and special hardwareAdaptadores y hardware especial
ISOISO
KFKF
CFCF
Flanges and hardwareBridas y elementos de conexión
UHV angle valvesVálvulas de ángulo, UHV
Angle valvesVálvulas de ángulo
Transfer valvesVálvulas de transferencia
Gate valvesVálvulas de guillotina
ValvesVálvulas
Special purposesFunciones especiales
Special materialsMateriales especiales
For lasersPara láser
Fused silicaSílice fusionado
SapphireZafiro
StandardEstándar
ViewportsMirillas
Pre-fabricated cablesCables prefabricados
AccessoriesAccesorios
Insulated wiresCables aislados
Cables and connectorsCables y conectores
Power GlovePower Glove
Multiway MSMS - multiway
High currentCorriente alta
Medium currentCorriente medio
Medium voltageVoltaje medio
Low voltageBajo voltaje
PowerPotencia
TriaxialTriaxial
Type NTipo N
MHV/SHVMHV/SHV
SMBSMB
SMASMA
BNCBNC
CoaxialCoaxial
HomeInicio
ProductsProductos
Vacuum componentsComponentes de vacío
Electrical feedthroughsPasamuros eléctricos
Sub-DSub-D
StandardEstándar
High densityAlta densidad
CombinationCombinacion
ConnectorsConectores
Crimp pinsPines crimp
Ready made cablesCables pre-fabricados
Circular Minature (CM)Circular Miniature (CM)
Dual-In-Line (DIL)Dual-In-Line (DIL)
ThermocouplesTermopares