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Deposición en vacío

Thermal boat sources

Fuentes de barcas termales

Thermal boat source from Mantis Deposition
TBS-2-800 thermal boat sources are designed for light thin film metal evaporation.
Visit the Mantis Deposition site for more detailed information.
Fuentes de barcas termales TBS-2-800 están diseñadas para evaporación metálica de película fina.
Visita el sitio web de Mantis Deposition para obtener información más detallada.
IntroductionIntroducción
IntroductionIntroducción
TBS-2-800 thermal boat sources are designed for light thin film metal evaporation.
Fuentes de barcas termales TBS-2-800 están diseñadas para evaporación metálica de película fina.
Applications
- Thin layer deposition
- Optical coatings
- Multilayer deposition
- Contact metallisation
Aplicaciones
- Deposición de capa fina
- Cubiertas ópticas
- Deposición multicapas
- Metalización de contacto
Fuentes de barcas termales
Features
Características
Features
Características
The thermal boat sources are designed with all metal vacuum seals and are fully bakeable to 250° C and are UHV compatible. Two sources are fitted onto one 100 CF flange and are separated by a cross-contamination shielding. The sources can accommodate filaments or boats and can be positioned inside the chamber for either upwards or downwards evaporation. The sources are not directly water-cooled, however, the design of the sources allows to introduce minimal thermal load to the chamber. TBS-2-800 are connected to a high-current power supply with 100 A current upper limit.
Las fuentes de barcas termales están diseñados con sellos de vacío totalmente metálicos y son calentables hasta 250º C y son compatibles con UHV. Dos fuentes están integradas en una brida 100 CF y se separan por escudos de contaminación cruzada. Las fuentes pueden acomodar filamentos o barcas y pueden ser posicionadas dentro de la cámara para evaporación hacia arriba o hacia abajo. Las fuentes no son enfriadas directamente por agua, sin embargo, el diseño de las fuentes permite la introducción de una carga mínima termal en la cámara. Los TBS-2-800 se conectan a un suministrador de potencia de alta-corriente con un límite superior de corriente de 100 A.
Options
Opciones
Options
Opciones
Manual or Motor-Driven Shutters
The thermal boat sources can be outfitted with an integral manual or motor-driven shutter. The shutters feature a rotary feedthrough which is magnetically coupled to ensure longevity.
Boats
Different shapes and sizes of boats can be fitted on request
Obturadores manuales o de motor
Las fuentes de barcas termales pueden equiparse con obturadores manuales o de motor. Estos obturadores tienen pasamuros rotatorios que están acoplados magnéticamente para asegurar una vida media larga.
Barcas
Se pueden instalar barcas de distintos tamaños y formas a petición del cliente.
Specifications
Especificaciones
Specifications
Especificaciones
Model TBS-2-800 TBS-4-800
Mounting Flange 100 CF 150 CF
UHV Compatible Yes, bakeable to 250º C Yes, bakeable to 250º C
Boat Sources 2 4
Boat/Filament Length 1 7/8" as standard (can be changed on request) 1 7/8" as standard (can be changed on request)
Max. Current 100 A 100 A
Shutters Yes Yes
Power Supply Yes Yes
Modelo TBS-2-800 TBS-4-800
Brida de montaje 100 CF 150 CF
Compatible con UHV Sí, calentable hasta 250º C Sí, calentable hasta 250º C
Fuentes de barca 2 4
Longitud de barca/filamento 1 7/8" de forma estándar (puede cambiarse a petición del cliente) 1 7/8" de forma estándar (puede cambiarse a petición del cliente)
Corriente máxima 100 A 100 A
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UHV feedthrough with attached in-vacuum fibrePasamuros UHV de fibra-óptica con fibra
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High vacuum couplerAcoplamiento para alto vacío
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Angle valvesVálvulas de ángulo
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