ngstrom Sciences, Inc. fue fundada en 1988 para suministrar magnetrones avanzados y materiales refinados para la deposición de vapor de plasma de películas delgadas de alta calidad. Con un fuerte enfoque en la investigación y el desarrollo, la compañía pronto patentó varios avances técnicos en magnéticos, enfriamiento por agua y diseños de sujeción de magnetrones circulares. Las características de Angstrom Advantage™ han creado los magnetrones más avanzados y fáciles de usar en la industria de las películas delgadas.
Los magnetrones circulares de Angstrom Sciences han sido reconocidos como el nuevo estándar de la industria de la pulverización catódica, porque además de las características avanzadas de Angstrom Advantage™, también ofrecen otras ventajas de rendimiento.
Su diseño compacto hace que sus magnetrones circulares sean ideales para cualquier aplicación nueva o modernizada, incluidos los conjuntos de grupos más complejos para las cámaras de vacío más pequeñas.
Los cabezales de baja impedancia ofrecen compatibilidad con RF, DC, DC de frecuencia media, DC pulsada y microondas. Magnetrón circular externo.
Utiliza accesorios estándar ISO NW, así como bridas de sellado de metal Conflat®. Todas las utilidades se mantienen en la atmósfera y se accede a ellas mediante accesorios de compresión de junta tórica estándar para una fácil instalación en cualquier sistema de vacío.
Las fuentes circulares de magnetrón están disponibles desde diámetros de objetivo de 1″(25 mm) a 16″ (406 mm) en configuraciones estándar o personalizadas. Magnetrón de precisión circular.
La abrazadera de objetivo roscada patentada y el escudo de ánodo le permiten cambiar objetivos sin el uso de herramientas auxiliares. Su capacidad de ajuste incorporada también le permite ajustar objetivos de diferentes grosores sin tener que recurrir a dispositivos espaciadores.
Los magnetrones ONYX® pueden operar a una presión extremadamente baja (hasta el rango de 10-4 Torr), y sus diseños enfriados directamente pueden proporcionar densidades de potencia de hasta 250 vatios / pulgada2 (30 vatios / cm2).
Obturador de ángulo recto de magnetrón circularCon densidades de potencia más altas, puede recubrir un sustrato más rápido. Por lo tanto, Angstrom Sciences maximiza tanto su zona de recubrimiento como su utilización objetivo (generalmente en el rango del 40%) sin un compromiso en la tasa.
Gracias a sus imanes patentados y perfilados, los magnetrones también ofrecen una uniformidad de deposición mucho mayor, rutinariamente en el rango de ± 3-5%.
Todos los magnetrones de Angstrom Sciences están garantizados contra defectos de mano de obra y materiales durante dos años completos.
hermionics Laboratory, Inc., fue fundada en 1958. Una empresa destacada por la innovación en la investigación, el diseño y la fabricación de equipos de vacío de precisión para aplicaciones científicas e industriales. Desde sus líneas de productos estándar hasta equipos personalizados, superan los requisitos del cliente al establecer el estándar en calidad y durabilidad.
Para nuevos componentes y sistemas, para la modificación y reparación de equipos existentes, para la limpieza y restauración de equipos usados, Thermionics ofrece los mejores equipos, servicios y valor a los clientes de todo el mundo.
