os controladores, monitores e instrumentos de medición de QCM líderes en el mercado de película delgada de INFICON controlan la velocidad de deposición y el espesor de los procesos más complejos con una velocidad y precisión de medición insuperables. El software mejorado y las funciones de E / S lógicas permiten que nuestros controladores de deposición de película delgada / instrumentos de medición QCM estén completamente integrados en el sistema de vacío para el control automático del proceso. Para controlar procesos menos complejos, utilice INFICON, controladores de precisión económicos, monitores e instrumentos de medición QCM que miden películas con 100 veces más precisión que las técnicas convencionales.

El sistema QCM típico incluye un cristal de cuarzo que es el dispositivo sensor, un soporte de cristal (sensor) que sostiene el cristal y proporciona conexiones eléctricas al cristal, un oscilador (o XIU para instrumentos ModeLock) que impulsa el cristal, y un controlador o monitor que lee la tasa de deposición y el espesor y almacena los parámetros del proceso. INFICON proporciona tanto sistemas QCM completos como componentes individuales diseñados para aplicaciones de investigación.