on más de 35 años de experiencia, CS CLEAN SOLUTIONS GmbH es su socio de confianza para la reducción de gases de escape en las industrias de semiconductores, fotovoltaica y afines.
Entre nuestros clientes se incluyen todos los principales fabricantes de chips y los institutos de investigación más importantes del mundo.
Nuestra tecnología CLEANSORB® respetuosa con el medio ambiente se desarrolla en Ismaning, cerca de Múnich, y se comercializa a través de una red internacional de ventas y servicios.
Como líder tecnológico mundial en nuestro campo, nuestra reducción de gases de escape secos no requiere el uso de combustibles fósiles ni agua, lo que proporciona beneficios adicionales para el medio ambiente y el clima.
La purificación de gases residuales se basa en nuestra tecnología patentada de absorción en lecho seco. Todos los productos han obtenido un historial inigualable en materia de seguridad, confiabilidad de procesos y fabricación ambientalmente sustentable.
Ya sea que su aplicación de reducción de gases se encuentre en las industrias de semiconductores, fotovoltaica, farmacéutica o química, requiere la eliminación de gases peligrosos posteriores. Descubra los beneficios de la tecnología única de CS CLEAN SOLUTIONS y el soporte mundial para mantener seguro su proceso de fabricación.
SERIE AUTÓNOMA CLEANSORB®
En los trabajos de investigación a pequeña escala, se pueden utilizar columnas de absorción autónomas para eliminar las concentraciones de gases remanentes “aguas abajo” de la cámara experimental.
CLEANSORB® LABLINE
Una pequeña columna de absorción montada dentro de un armario compacto. Está encendido de manera permanente y no necesita calentarse ni activarse en cada nuevo experimento.
CLEANSORB® FABLINE
Es el modelo CLEANSORB estándar para la eliminación de gases residuales en aplicaciones a escala industrial. Disponible en tres tamaños de columna, el sistema se adapta fácilmente a los requisitos tanto de la línea piloto como de la fabricación a gran escala.
CLEANSORB® PRIMELINE
Representa la versión con todas las funciones de la familia CLEANSORB de sistemas de eliminación de gases de escape de lecho seco. El sistema está especialmente diseñado para manejar los flujos de gas y las condiciones de funcionamiento relacionadas de las aplicaciones de procesos críticos para la seguridad, en particular las de deposición química en fase de vapor de compuestos orgánicos metálicos.
Conversión de plasma PCS TROPO & PCS STRATO
Los sistemas de conversión de plasma atmosférico PCS TROPO y PCS STRATO son fuentes de plasma de alto rendimiento, desarrollados para destruir compuestos perfluorados como CF4, CHF3, SF6 y NF3 que se emiten durante el grabado de semiconductores y procesos relacionados.
Conversión de plasma PCS TROPO & PCS STRATO
Es una fuente de plasma de alto rendimiento, desarrollada para destruir el NH3 que se emite a partir de GaN y procesos relacionados. En el caso de instalaciones existentes que requieren la capacidad de eliminar NH3, el PCS EXO se puede adaptar fácilmente. El cloro utilizado durante los pasos de limpieza se elimina mejor utilizando un quimisor de lecho seco CLEANSORB®.
Disponibles para una amplia gama de gases de uso especial
En el núcleo del sistema CLEAN-PROTECT se encuentra el material quimisorbente de lecho seco CLEANSORB®. En el sistema CLEAN-PROTECT, los gases de escape sufren una reacción química irreversible (oxidación o neutralización) y se convierten de manera segura en subproductos sólidos. El sistema se instala en línea con los conductos de extracción de aire “aguas abajo” y no precisa de energía ni de otras instalaciones para funcionar, por lo que está permanentemente en estado de espera.
El sistema CLEAN-PROTECT se fabrica con acero inoxidable de grado 316L de gran calidad. Si no se produce ninguna fuga de gas, el lecho del absorbedor debe cambiarse cada cinco años.
CLEANVENT – Mini cartucho para líneas de ventilación del gabinete de gas
Durante más de 20 años, el cartucho CLEANVENT ha demostrado ser una solución segura para la eliminación de gases de purga peligrosos.
Este cartucho se instala dentro del módulo de gas en el lado de succión de la bomba de vacío tipo Venturi o en un bloque de válvulas y permite depurar los gases residuales “en el origen”.
Diseñado para absorber gases tóxicos o peligrosos en los casos de emergencia por fuga de gas
Antes de colocar una nueva botella de gas en línea dentro de un módulo de suministro de gas, primero debe extraerse el gas de proceso que queda en la botella anterior, tanto por motivos de seguridad como para garantizar la integridad del nuevo suministro de gas. Es probable que el volumen muerto del gas residual sea un gas tóxico, autoinflamable o corrosivo altamente concentrado, lo que representa un gran riesgo para la seguridad.
Los gases de purga se evacuan a través del lecho absorbente del cartucho y se depuran de concentraciones de gas peligrosas mediante conversiones químicas irreversibles en sólidos. Los cartuchos rellenables CLEANVENT están disponibles para una amplia gama de gases de uso especial y cuentan con la asistencia de la red mundial de socios de servicios de CS CLEAN SYSTEMS.
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