ngstrom Sciences, Inc. fue fundada en 1988 para suministrar magnetrones avanzados y materiales refinados para la deposición de vapor de plasma de películas delgadas de alta calidad. Con un fuerte enfoque en la investigación y el desarrollo, la compañía pronto patentó varios avances técnicos en magnéticos, enfriamiento por agua y diseños de sujeción de magnetrones circulares. Las características de Angstrom Advantage™ han creado los magnetrones más avanzados y fáciles de usar en la industria de las películas delgadas.
Los magnetrones circulares de Angstrom Sciences han sido reconocidos como el nuevo estándar de la industria de la pulverización catódica, porque además de las características avanzadas de Angstrom Advantage™, también ofrecen otras ventajas de rendimiento.
Su diseño compacto hace que sus magnetrones circulares sean ideales para cualquier aplicación nueva o modernizada, incluidos los conjuntos de grupos más complejos para las cámaras de vacío más pequeñas.
Los cabezales de baja impedancia ofrecen compatibilidad con RF, DC, DC de frecuencia media, DC pulsada y microondas. Magnetrón circular externo.
Utiliza accesorios estándar ISO NW, así como bridas de sellado de metal Conflat®. Todas las utilidades se mantienen en la atmósfera y se accede a ellas mediante accesorios de compresión de junta tórica estándar para una fácil instalación en cualquier sistema de vacío.
Las fuentes circulares de magnetrón están disponibles desde diámetros de objetivo de 1″(25 mm) a 16″ (406 mm) en configuraciones estándar o personalizadas. Magnetrón de precisión circular.
La abrazadera de objetivo roscada patentada y el escudo de ánodo le permiten cambiar objetivos sin el uso de herramientas auxiliares. Su capacidad de ajuste incorporada también le permite ajustar objetivos de diferentes grosores sin tener que recurrir a dispositivos espaciadores.
Los magnetrones ONYX® pueden operar a una presión extremadamente baja (hasta el rango de 10-4 Torr), y sus diseños enfriados directamente pueden proporcionar densidades de potencia de hasta 250 vatios / pulgada2 (30 vatios / cm2).
Obturador de ángulo recto de magnetrón circularCon densidades de potencia más altas, puede recubrir un sustrato más rápido. Por lo tanto, Angstrom Sciences maximiza tanto su zona de recubrimiento como su utilización objetivo (generalmente en el rango del 40%) sin un compromiso en la tasa.
Gracias a sus imanes patentados y perfilados, los magnetrones también ofrecen una uniformidad de deposición mucho mayor, rutinariamente en el rango de ± 3-5%.
Todos los magnetrones de Angstrom Sciences están garantizados contra defectos de mano de obra y materiales durante dos años completos.
ocus posee un equipo altamente formado y motivado de físicos e ingenieros en cooperación con socios externos garantiza que sus productos cumplan siempre con las últimas demandas de la ciencia y las ramas de alta tecnología. a largo plazo.
Una serie de patentes y el desarrollo continuo de todos los productos garantiza y mantiene la ventaja competitiva de la empresa.Todos los productos son desarrollados, fabricados y probados internamente.
Evaporadores de haz de electrones
Evaporadores EFM 2: Básicos
El EFM 2 es una versión básica de bajo presupuesto del EFM 3. Cuenta con las mismas capacidades probadas en términos de concepto de enfriamiento, pureza, área de evaporación, rango de temperatura, confiabilidad, calidad, etc. que el EFM 3, pero sin el obturador y monitor de flujo.
Evaporadores EFM 3: Clásico
Como primer miembro de la familia, el EFM 3 está diseñado para el crecimiento de películas delgadas y la epitaxia de haz molecular. Los sistemas de subcapa y multicapa se pueden producir con velocidades de evaporación que varían de 1/10 monocapa por minuto a varias monocapas por segundo.
EFM 3s: Suprimiendo iones
Al EFM 3s agrega un electrodo adicional al EFM 3. Una parte del haz evaporante en todos los productos de la serie EFM es ionizada por el bombardeo de electrones durante el calentamiento. La mayoría de estos iones son capturados por el electrodo del monitor de flujo.
EFM 3i: deposición asistida por haz de iones (IBAD)
El EFM 3i está diseñado específicamente para facilitar el crecimiento capa por capa en los casos en que no ocurre de forma natural.
Permite la evaporación controlada del material objetivo y la generación simultánea de iones para crear defectos adicionales en la superficie (deposición asistida por haz de iones, IBAD).
EFM 3T: Tres fuentes a la vez
Basado en el concepto de diseño de los evaporadores EFM 3, el evaporador triple EFM 3T cuenta con tres celdas independientes para la evaporación de una amplia gama de materiales de alambres, varillas o crisoles.
Las tres celdas individuales tienen vigas transversales a aproximadamente 93 mm de distancia de la abertura de salida (254 mm de la brida de montaje) para garantizar una superposición máxima del área de evaporación.
EFM 3Ts: tres fuentes a la vez con supresión de iones
El EFM 3T agrega un electrodo adicional al EFM 3T. Para generar un haz neutro al 100%, se aplica un voltaje a la salida de los EFT 3T, que actúa como un supresor de iones.
Una parte del haz de evaporación en todos los productos de la serie EFM es ionizada por el bombardeo de electrones durante el calentamiento. La mayoría de estos iones son capturados por el electrodo del monitor de flujo.
EFM 4: Para muestras grandes
El EFM 4 proporciona las mismas características que el EFM 3, pero está destinado a la deposición en sustratos con un diámetro mayor hasta aproximadamente 50 mm.
Las tres aberturas de salida diferentes permiten adaptar el área de evaporación exactamente al tamaño de la muestra. Las velocidades de evaporación que varían de 1/10 monocapa por minuto a más de 1000 monocapas por segundo se pueden lograr mediante la selección de la potencia adecuada del crisol y del haz de electrones.
EFM 4: Para muestras grandes
El evaporador EFM 6 amplía la gama de productos EFM a una escala mayor. Con una brida de base NW 63 CF (4.5 «OD) y una capacidad de crisol de hasta 9 cm3, el EFM 6 contiene aproximadamente diez veces más material que el EFM 3.
Ya a una corta distancia de trabajo, el área de evaporación tiene más de 50 mm de diámetro, lo que hace que el EFM 6 sea ideal para sustratos de entre 2 «y 4».
EFM H: Fuente de hidrógeno atómico
El EFM-H es una fuente para proporcionar hidrógeno atómico basado en el diseño del EFM 3. Se utiliza una brida NW 16 CF en la parte trasera para la entrada de hidrógeno molecular, incluida una derivación de bombeo para limpiar la tubería antes de la eliminación de H2.
Es un instrumento ideal para la limpieza y el grabado de superficies semiconductoras (como Si, GaAs, Ge o InP), para la pasivación de superficies, para mejorar el crecimiento de películas delgadas y otras aplicaciones similares que utilizan hidrógeno atómico.
puttering Components, Inc. (SCI) fue fundada en 2001. Sus oficinas corporativas y su lugar de fabricación y de servicio están en Owatonna, Minnesota. SCI fabrica cátodos rotativos, “end blocks”, sistemas “lid” y magnetismo de los sistemas de revestimiento por método pulverización catódica de cualquier anchura.
hermionics Laboratory, Inc., fue fundada en 1958. Una empresa destacada por la innovación en la investigación, el diseño y la fabricación de equipos de vacío de precisión para aplicaciones científicas e industriales. Desde sus líneas de productos estándar hasta equipos personalizados, superan los requisitos del cliente al establecer el estándar en calidad y durabilidad.
Para nuevos componentes y sistemas, para la modificación y reparación de equipos existentes, para la limpieza y restauración de equipos usados, Thermionics ofrece los mejores equipos, servicios y valor a los clientes de todo el mundo.
