stas bombas fueron diseñadas originalmente para las necesidades de los fabricantes de semiconductores, pero el precio de esta tecnología se ha reducido significativamente en los últimos años y ahora es accesible para usuarios que necesitan bombas fiables que no contaminen sus sistemas de vacío.
Crean un entorno de vacío indispensable para el proceso de fabricación de células solares y semiconductores.
Las bombas de Shimadzu están diseñadas para cumplir con los requerimientos de la deposición de capas y de la fabricación de modulos para celulas solares y obleas de silicona, los cuales están creciendo en tamaño.
Rodamientos combinados
Mecanismo de rodamiento de larga duración reduce los costos de mantenimiento / Puede usar en combinación con una pequeña bomba de respaldo / Puede montarse en cualquier orientación.
Unidad de fuente de alimentación integrada
Compacta / Ahorro de energía / No necesita instalar cables ni utilizar un rack de control / Rendimiento de bombeo mejorado / No se necesita una fuente de alimentación separada porque el suministro de alimentación de CA se recibe directamente.
Serie de amplio rango
Amplio rango y alto rendimiento de bombeo / Fuente de alimentación digital compatible / Diversas funciones de supervisión / Conexión de red habilitada / Compatible con marcado CE, SEMI S2 y NRTL.
Tipo de alto rendimiento
Caudal de bombeo máximo / Excelente resistencia a la corrosión / Fuente de alimentación compacta / Medidas contra productos de reacción (opcional) / Diversas funciones de supervisión…
Alta relación de compresión
Relación de compresión de hidrógeno de 106 / Bomba turbomolecular sin batería con levitación magnética / Cuerpo compacto de la bomba y fuente de alimentación / Sin ajuste / Interfaz serial compatible con RS-232C está equipada de serie.
NEST IWATA en la filial norteamericana de ANEST IWATA Corporation en Japón, que es un fabricante líder especializado en equipos de pintura, sistemas de recubrimiento «llave en mano», compresores de aire y bombas de vacío de alta gama.
ANEST IWATA fue el primero en el mundo en desarrollar bombas de vacío tipo espiral, sin aceite y refrigeradas por aire. Nuestras bombas de vacío de aceite sin aceite son compactas y emiten menos ruido / vibración que otras bombas de vacío seco. Son altamente valorados por los clientes que necesitan vacío limpio y de alta calidad, especialmente en campos analíticos y semiconductores.
ISP DRY SCROLL
La serie ISP de bombas de vacío ofrece un entorno de vacío limpio y elimina la molestia del engorroso mantenimiento del lubricante o la administración del agua de sellado. ISP está libre de restricciones de instalación debido a su sistema refrigerado por aire. El ISP mantiene un bajo consumo de energía desde la atmósfera hasta la presión máxima. La presión máxima es 1 [Pa] Alta confiabilidad.
DVSL DRY SCROLL
Las bombas de espiral DVSL están equipadas con un sistema de vacío seco, por lo que no es necesario lubricar el aceite ni sellar el agua. La ausencia de engranajes significa que requiere poco mantenimiento y no es necesario cambiar el aceite del engranaje ni el riesgo de fugas de aceite lubricante. La aspiradora de generador mantiene el área de instalación limpia. Está equipado con un sistema de refrigeración por agua que elimina la necesidad de controlar la refrigeración por agua en el sitio. Las bombas DVSL son excelentes para desplazar el vapor de agua. La baja variación de potencia entre la presión atmosférica y la presión máxima permite un funcionamiento repetido y continuo entre la presión atmosférica y el vacío. Estas bombas consumen menos energía y pueden generar ahorros en el área de vacío. Operación de 24 horas asegurada.
GVSU DRY SCROLL
La bomba de desplazamiento en espiral GVSU-500B está equipada con un sistema de vacío seco, por lo que no es necesario lubricar ni sellar el aceite. La ausencia de engranajes significa que requiere poco mantenimiento y no es necesario cambiar el aceite del engranaje ni el riesgo de fugas de aceite lubricante. La aspiradora de generador mantiene el área de instalación limpia. Está equipado con un sistema de refrigeración por agua que elimina la necesidad de controlar la refrigeración por agua en el sitio. La bomba GVSU-500B es excelente para desplazar el vapor de agua. La baja variación de potencia entre la presión atmosférica y la presión máxima permite un funcionamiento repetido y continuo entre la presión atmosférica y el vacío. Esta bomba consume menos energía y puede generar ahorros en el área de vacío. Operación de 24 horas asegurada.