Motion and heating in UHV

Avactec is the exclusive distributor in Spain of UHV Design, specialists in the movement in ultra high vacuum and heating products UHV Design
E

HV motion and heating, who have set the standard for innovative product development in the vacuum industry.

UHV Design has developed and manufactured vacuum manipulation solutions for over 15 years. In that time it has accumulated a ‘production proven’ product range, positioning the company at the forefront of high and ultra high vacuum manipulation.

By taking an innovative approach, UHV Design have often eliminated problems that were common place in manipulation product ranges based on older technology. For example, the kinematic movements of their LSM Z shift range, the magnetic coupling technology of their linear and rotary probes, and the choice of materials, bearings and sealing methods in all of their product ranges, have led to a range of significant improvements and developments in the vacuum industry.

UHV Design has just moved to a new purpose-built factory and are well positioned to keep their position as one of the world leaders in the field of motion and heating in UHV.

Rotary Drives

The production-proven MagiDrive range of rotary feedthroughs enables rotation to be transferred into a vacuum system using a stiff high-flux magnetic coupling. With no bellows, fluids or dynamic seals, the MagiDrive range offers reliable and leak-tight UHV operation.

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Shutters

The range of viewport shutters and source shutter actuators from UHV Design are both based on their MagiDrive magnetically-coupled feedthrough series and include options to match the required flange size and torque requirements. For more information click on the link below.

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Port aligners

Enables the distance and angular relationship between two flanges to be adjusted. A fixed flange supports three equi-spaced threaded shafts, and in parallel, a travelling flange has adjustable floating mounts. A typical application would be the final alignment of sample transfer arms.

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Wobble sticks

The UHV Design wobble stick is a slimline modular concept benefiting from UHV Design’s high power magnetic coupling technology. The coupling eliminates the need for long egde-welded bellows stacks, typically employed with conventional wobble stick designs. This reduces the risk of leaks, particularly for deposition applications such as MBE where particulates or deposition between bellows convolutions can reduce lifetimes or cause immediate failure.

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Manipuladores girables

La serie de manipuladores rotatorios MagiDrive permite que la rotación sea transferida a un sistema de vacío usando un acoplamiento magnético rígido y de alto flujo. Sin fuelles, fluidos ni sellos dinámicos, la serie MagiDrive ofrece una operación de UHV fiable y sin fugas.

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Obturadores

Nuestra gama de obturadores de ventanas y actuadores de obturadores de fuente se basan en nuestra serie de alimentación por acoplamiento magnético MagiDrive e incluyen opciones que coinciden con los requisitos de tamaño de brida y par requeridos.
Para más información, haga clic en el enlaces más abajo.

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Alineadores de puertos

Permite ajustar la distancia y la relación angular entre dos bridas, donde una brida fija soporta tres ejes roscados equiespaciados, y en paralelo, una brida móvil tiene montajes flotantes ajustables. Una aplicación típica sería la alineación final de los brazos de transferencia de muestra.

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Wobble sticks

La barra oscilante UHV Design es un concepto modular delgado que se beneficia de la tecnología de acoplamiento magnético de alta potencia de UHV Design. El acoplamiento elimina la necesidad de pilas de fuelle soldadas con orificios largos, típicamente empleadas con diseños de balancines convencionales. Esto reduce el riesgo de fugas, particularmente para aplicaciones de deposición como MBE, donde las partículas o la deposición entre las circunvoluciones de los fuelles pueden reducir la vida útil o causar una falla inmediata.

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Sample transfer arms

PowerProbe sample transfer arms enable secure transfer of samples within UHV. This is a consequence of their unrivalled magnetic coupling strength. In addition to linear and linear/rotary probes, this extensive range includes the Elevating PowerProbe and the Dual-Axis PowerProbe designed to transfer specific industry-standard sample holders using a variety of actuation methods.

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Radial telescopic transfer arm

Radial systems require the precise transfer of samples between multiple chambers for preparation and analysis. This is handled from the central radial distribution chamber (as shown on previous page). The Radial Telescopic Transfer Arm (RTTA) represents a step-change advance in radial distribution technology offering unrivalled performance over conventional designs at a comparable cost. The RTTA uses a high torque magnetically-coupled MagiDrive to provide extremely stiff coupling for radial motion.

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Push pull devices

We offer a range of products to address both high-duty, high-torque and high-precision, linear-only applications.

For high-duty process applications, the magnetically-coupled push pull (MPP) devices are ideally suited with high torque, high axial stiffness and zero thrust due to vacuum. For applications where precise multi-positioning is required, our linear bellows drives provide exceptional resolution (two-times better than conventional units), a guaranteed minimum lifetime of 10,000 cycles and the ability to easily motorise in the field.

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Heater modules

A cost-effective solution to sample heating whilst benefiting from proven cutting-edge heater technology. They comprise CVD processed heating elements packaged in refractory metal cases. In addition to the complete sample heating solutions offered in the EpiCentre section, UHV Design also offers a range of individual heater modules for end users to incorporate into their own heater stage designs. The range provides end users with a cost-effective solution to sample heating, whilst benefiting from a proven heater technology used in market leading stages.

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Herramientas de transferencia de muestra

Los brazos de transferencia de muestra PowerProbe permiten la transferencia segura de muestras dentro de UHV. Esto es una consecuencia de su fuerza de acoplamiento magnético sin rival. Además de las sondas lineales y lineales / rotativas, esta extensa gama incluye Elevating PowerProbe y Dual-Axis PowerProbe, diseñadas para transferir portapares de muestras específicos de la industria utilizando una variedad de métodos de actuación.

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Brazo de transferencia telescópico radial

Los sistemas radiales requieren la transferencia precisa de muestras entre cámaras múltiples para su preparación y análisis. Esto se maneja desde la cámara de distribución radial central (como se muestra en la página anterior). El brazo de transferencia telescópica radial (RTTA) representa un avance en el cambio de paso en la tecnología de distribución radial que ofrece un rendimiento sin igual frente a los diseños convencionales a un costo comparable. El RTTA utiliza un MagiDrive magnéticamente acoplado de alto par para proporcionar un acoplamiento extremadamente rígido para el movimiento radial.

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Dispositivos push-pull

Ofrecemos una gama de productos para aplicaciones de alto rendimiento, alto torque y alta precisión, solo lineales.

Para aplicaciones de procesos de alto rendimiento, los dispositivos de tracción push acoplados magnéticamente (MPP) son ideales para un alto par de torsión, alta rigidez axial y empuje cero debido al vacío. Para aplicaciones en las que se requiere un posicionamiento múltiple preciso, nuestros accionamientos de fuelle lineal brindan una resolución excepcional (dos veces mejor que las unidades convencionales), una vida útil mínima garantizada de 10.000 ciclos y la capacidad de conducir fácilmente en el campo.

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Módulos calefactores

Una solución económica para el calentamiento de muestras al mismo tiempo que se benefician de una tecnologia punta. Constan de elementos de calentamiento procesados envueltos en cajas de metal refractario. Ademas de todas las soluciones de calentamiento de muestras que se ofrece en la sección EpiCentre), UHV Design también ofrece una gama de módulos individuales de calentamiento para incorporar en sus propias plataformas de calentamiento. La gama proporciona a los usuarios con una solución económica para el calentamiento de muestras mientras que se benefician de una tecnología ya probada en las plataformas líderes en el mercado.

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Linear motion and alignment

Movimiento lineal y alineación

Linear Shift Mechanisms (linear translators) provide linear motion along the port axis (Z). Typical applications include the positioning of beamline filters, adjustment of sputter sources and deposition stages through to production style applications. Bakeable to 250º C, the range is supplied on CF flanges and provides true UHV performance.
UHV Design has the largest LSM range in the world, from CF35 to CF150 flanges, up to 1m of stroke, tilt and X alignment versions with manual, pneumatic and motorization options, all available with a variety of position encoders.

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Y, XY, XYZ and XYZT manipulation

Many vacuum applications such as sample transfer, beamline diagnostic positioning and sample positioning for analysis require precise manipulation along Y or XYZ axes.

UHV Design provides a field-proven range of precise manipulators that can be used in isolation or combined with linear shift mechanisms and magnetically coupled rotary drives to build sophisticated manipulators with up to six axes of independent motion.

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MultiCentre analytical stages

Configurable analytical stages offering up to 5 axes of motion and options for sample biasing, heating to 1200°C and cooling to <30K. MultiCentres can be configured to accept most common surface analysis sample holders including pucks, flags and ESCA stubs.

The MultiCentre and associated accessories provide a complete solution for sample transfer and manipulation. Typical applications include analytical instrumentation for surface analysis equipment and synchrotron end stations.

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EpiCentre deposition stages

The EpiCentre range of deposition stages employs cutting -edge design and engineering technology to give high temperature, uniform and durable substrate heating with precise manipulation under true UHV conditions.

EpiCentres have been designed for deposition applications such as MBE (Molecular Beam Epitaxy), sputtering and CVD (Chemical Vapour Deposition). Substrate annealing, degassing and other high temperature material modifications can also be performed.

EpiCentres can be mounted in any-orientation to suit customer chamber designs and application configurations.

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Movimiento lineal y alineación

Movimiento lineal y alineación

Los mecanismos de desplazamiento lineal (LSM) proporcionan movimiento lineal a lo largo del eje del puerto (Z). Las aplicaciones típicas incluyen el posicionamiento de los filtros de línea de luz, el ajuste de las fuentes de bombardeo y las etapas de deposición hasta las aplicaciones de estilo de producción.
UHV Design tiene la mayor gama de LSM del mundo, desde bridas CF35 a CF150, hasta 1m de carrera, inclinación y versiones de alineación X con opciones manuales, neumáticas y de motorización, todas disponibles con una variedad de codificadores de posición.

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Manipuladores Y, XY, XYZ y XYZT

Muchas aplicaciones de vacío, como la transferencia de muestras, el posicionamiento de diagnóstico de la línea de luz y el posicionamiento de muestras para el análisis requieren una manipulación precisa a lo largo de los ejes Y o XYZ.

UHV Design proporciona una gama probada de manipuladores precisos que se pueden usar de forma aislada o combinados con mecanismos de cambio lineal y unidades rotativas acopladas magnéticamente para crear manipuladores sofisticados con hasta seis ejes de movimiento independiente.

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Etapas analíticas de MultiCentre

Etapas analíticas configurables que ofrecen hasta 5 ejes de movimiento y opciones de polarización de muestra, calentamiento a 1200 ° C y enfriamiento a <30K. MultiCentres se puede configurar para que acepte los soportes de muestra de análisis de superficie más comunes, incluidos discos, banderas y stubs de ESCA.

El MultiCentre y los accesorios asociados brindan una solución completa para la transferencia y manipulación de muestras. Las aplicaciones típicas incluyen instrumentación analítica para equipos de análisis de superficie y estaciones finales sincrotrón.

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Etapas de deposición del epicentro

El rango de epicentro de las etapas de deposición emplea el diseño de corte y la tecnología de ingeniería para proporcionar un calentamiento de sustratos de alta temperatura, uniforme y duradero con una manipulación precisa en condiciones reales de UHV.

EpiCentres se ha diseñado para aplicaciones de deposición como MBE (Molecular Beam Epitaxy), sputtering y CVD (Chemical Vapor Deposition). El recocido del sustrato, la desgasificación y otras modificaciones del material a alta temperatura también se pueden realizar.

EpiCentres se puede montar en cualquier orientación para adaptarse a los diseños de la cámara del cliente y la aplicación.

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